半導体製造装置の製造販売
半導体製造設置の製造販売
イリオスではレジスト塗布現像装置を中心に半導体製造前工程の
装置の取り扱いをしております。
コーターデベロッパーやアッシャー以外の装置も対応可能です。
お客様の要望に柔軟に対応できるよう心がけております。
主要製品
よくある質問
コーターとはウェハにレジスト膜を形成する装置です
半導体を作るためにはウェハと呼ばれる基板に回路を転写(露光工程)する必要があり、回路を転写するためにはレジストという感光材をウェハに塗らなければなりません。 このレジストを塗る装置をコーター(レジスト塗布装置)と呼びます。
デベロッパーとは転写された回路パターンを作り出す装置です
回路の転写が終わったウェハに現像液と呼ばれるレジスト液を洗い流す液体をかけて回路パターンを浮かび上がらせる必要があります。 この処理を行うのがデベロッパー(現像装置)です。
お客様の仕様で異なります
コーターとデベロッパーを1台にまとめて運用されるお客様が多いですが、コーターのみやデベロッパーのみという仕様にされるお客様もいらっしゃいます。 お客様のニーズをお伺いし最適な装置構成をご提案いたします。
〒225-0021
神奈川県横浜市青葉区すすき野2丁目7番地6
TEL : 045-482-9513/ FAX：045-482-9514
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