半導体製造装置の製造販売

DAVID system(レジスト塗布現像装置)

DAVID systemは1ユニット単位でカスタム可能な
ロボット搬送型のレジスト塗布現像装置です。

本装置はウェハ1枚ずつにレシピを組むことが可能なため、量産だけでなく
研究開発にも向いています。
装置付属のモニターではユニット内の処理状況がアニメーションで表示されるので
ウェハの状況がリアルタイムで確認可能です。
また、エラーの履歴はタイムスタンプ付きで全て記憶されるため、
装置から離れている間にエラーが発生しても、発生時の状況が確認できます。