DAVID system

◆1ユニット単位でカスタマイズが可能
・ベークユニットやスピンユニットなどを1個から選択可能
　お客様のご希望に沿った構成をご提案いたします。
・スピンユニットは最大5つまで搭載可能です。

◆優れたインターフェイスを実現
・お客様の使いやすさを念頭に開発したGUIを搭載
　ウェハごとに異なる搬送レシピを指定できます。
　また、ロットごとの作業履歴の自動保存や各ユニットのウェハステータスの
　カラー表示に対応しています。

　

メーカー様のサポートが終了してしまった装置の延命も対応しております。
詳しくは詳細ページをご覧ください。