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半導体製造装置のカスタムについて

レジスト塗布現像装置・アッシャー装置などのカスタムに対応

イリオスでは、半導体製造の前工程にあたるレジスト塗布・現像装置やアッシャー装置について、お客様が必要な機能のみを装備したカスタムに対応します。お客様のご要望や使用環境などを確認したうえで仕様書を提案。新規開発も、メーカー品の改造も、1ユニット単位でカスタムが可能です。

設置時のサポートや納品後のアフターフォローも含め、スムーズにご利用いただける半導体製造装置をご提案いたします。

イリオスの半導体製造装置カスタムの特長

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1ユニット単位で装置構成のカスタムが可能

メカ設計や電気設計に長けたエンジニアも在籍。ロボットハンドでウエハを搬送させる装置や、横型のメカニカルハンド搬送の装置など幅広く対応。
お客様のニーズに合わせて1ユニット単位のカスタムも可能です。

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導入・設置時の手厚いフォロー体制

装置の立ち上げ時には、お客様と一緒にプロセスの条件出しまで行い、改良が必要な場合は即時対応します。
また、製造ラインの構築や移設も含め、お客様がスムーズにご使用になるために必要な作業もサポートいたします。

半導体製造装置の導入の流れ

STEP 01

ヒアリング

お打ち合わせにてお客様のお悩みや課題をお伺いいたします。
対面、webミーティングどちらでも対応可能です。

STEP 02

要件定義・仕様書と見積書の提示

お打ち合わせにてお伺いした内容を基にお客様のご希望に合った装置の仕様を提案いたします。
仕様に間違いがないか、追加のご要望などがないかをご提案の場で再度ご確認します。

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STEP 03

受注・製造

注文書の発行後、装置の製造に取り掛かります。
納期は約8ヵ月となります。
※装置の仕様や社会情勢により納期は変動いたします。
 この段階で装置搬入や立ち上げのスケジュールをお打ち合わせさせていただきます。

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STEP 04

納品・設置・立ち上げ

輸送会社の手配まで安心してお任せください。
精密機器の搬送に実績のある搬送会社を手配いたします。
立ち上げはただ使えるようになって終わるのではなく、プロセスの条件出しまで協力いたします。


STEP 05

アフターフォロー(保証)

立ち上げから新規装置は1年、中古ユニットを使用した装置は90日間保証いたします。
※中古装置の保証期間は条件により異なる場合がございます。